산화층

생기원 소재공급망연구부문 김세광 수석연구원은 이러한 발암물질 사용 없이 산화칼슘을 활용해 산화층 제어기술을 세계 최초로 개발해 독성 첨가제 없이 알루미늄과 마그네슘 합금을 제조할 수 있는 에코 알막...

특히 ALD 공정에서 박막이 형성되는 초기 단계의 계면 반응과 산화 거동을 정밀하게 제어하는 공정 전략을 통해, 기존에 커패시터 성능 저하의 원인으로 지목돼 온 불필요한 계면 산화층 형성을 효과적으로...

생기원 소재공급망연구부문 김세광 수석연구원은 산화칼슘(CaO)을 활용한 산화층 제어기술을 세계 최초로 개발, 독성 첨가제 없이 안정적으로 알루미늄-마그네슘 합금을 제조할 수 있는 에코 알막 원천기술을...

특히 공정 초기 단계의 화학 반응을 정밀하게 제어해, 그동안 성능 저하의 주범이었던 불필요한 산화층이 생기는 현상을 효과적으로 차단했다. 그 결과 전류가 새는 현상을 줄이고, 소자의 안정성을 확보하는 데...

이를 통해 기존 DRAM 커패시터 성능 저하의 원인으로 지목돼 온 불필요한 계면 산화층 형성을 효과적으로 억제하는 데 성공했다. 연구 결과 메모리 소자의 누설전류 특성과 전기적 안정성이 개선됐으며, 차세대...

특히 ALD 공정에서 박막이 형성되는 초기 단계의 계면 반응과 산화 거동을 정밀하게 제어하는 공정 전략을 통해, 기존에 커패시터 성능 저하의 원인으로 지목돼 온 불필요한 계면 산화층 형성을 효과적으로...

연구팀은 이를 통해 기존에 커패시터 성능 저하의 원인으로 꼽혀온 불필요한 계면 산화층 형성을 효과적으로 억제했다. 그 결과 메모리 소자의 누설전류 특성과 전기적 안정성이 개선됐으며, 차세대 DRAM 미세화...

특히 ALD 공정에서 박막이 형성되는 초기 단계의 계면 반응과 산화 거동을 정밀하게 제어하는 공정 전략을 통해, 기존에 커패시터 성능 저하의 원인으로 지목돼 온 불필요한 계면 산화층 형성을 효과적으로...

생기원 소재공급망연구부문 김세광 수석연구원(KITECH School 교수)은 산화칼슘(CaO)을 활용한 산화층 제어기술을 세계 최초로 개발해 독성 첨가제 없이 안정적으로 알루미늄-마그네슘 합금을 제조할 수 있는 원천기술을...